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產品中心
產品名稱:

等離子清洗機

描述:雅馬拓YSP63FA等離子清洗機:可進行樣品傳輸系統定制。可通過網絡進行遠程操作。
  • 更新時間:2024-06-15
  • 產品型號:YSP63FA
  • 產品廠地:上海市
  • 訪問次數:1374

產品介紹

雅馬拓YSP63FA等離子清洗機產品特點:
可進行樣品傳輸系統定制。
操作快捷方便:放入樣品收納盒、自動處理、取出收納盒。
軟性基板也可以進行傳送操作。
傳送速度可在Hi-Low間調節。
可通過網絡進行遠程操作(選購品)。
提高各種材料的粘接性、表面改質處理
清洗各類基板。
電子部品、材料表面改質。
更容易嵌入生產線使用。
可通過操作面板自由切換等離子模式。

雅馬拓YSP63FA等離子清洗機產品參數:

型號

YSP63FA

模式

RIE(DP模式選購)

高頻輸功率

600W

反應臺尺寸

W385×D362mm

內腔尺寸

W395×D378×H45mm(內尺寸)

反應氣體

2進氣系統(氧氣、氬氣)

反應氣體流量控制

質量流量控制器

真空泵

旋轉式真空泵(約500L/min)

氣體導入口

反應氣體2個、填充氣體1個、空氣1個

外形尺寸

W1860×D1100×H1800mm

其它同類產品如下:
雅馬拓YSP600U等離子清洗儀器:
產品特點:
樣品傳輸系統為模塊式,便于組合。
體積小,節省空間。
選用小型腔體,反應效率高。
更容易嵌入生產線使用。
可通過操作面板自由切換等離子模式。
配備冷卻反應臺。

?

技術參數:

型號

YSP600U

YSP2KU

模式

RIE(DP模式選購)

高頻輸功率

600W

2000W

反應臺尺寸

W300×D300mm

W600×D600mm

反應氣體

2進氣系統(氧氣、氬氣)

反應氣體流量控制

質量流量控制器

氣體導入口

反應氣體2個、填充氣體1個、空氣1個

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